实验室行业的真空应用（二）

2018-01-15 点击数：1207

实验室行业的真空应用（二）：

扫描电镜的真空应用，飞雅、日立、日本电子、蔡司都是我们常见的扫描电镜的品牌，扫描电镜被广泛的应用在半导体、实验室等领域。扫描电镜也是借助高真空系统。电镜的高真空系统是有分子泵和前级泵组成，分子泵一般采用脂润滑或磁悬浮的分子泵，前级泵是采用双级油旋片真空泵，或无油涡旋泵作为前级泵。前级泵是辅助分子泵运行的，前级泵先将腔体抽到10pa以后再启动分子泵。分子泵启动后再将系统抽到-3pa~-4pa左右。